艾司摩爾（ASML）最先進的極紫外光微影設備（EUV）每台估計耗電約1MW（百萬瓦），大約是前幾代設備的10倍以上，但想以最先進製程技術生產晶片，捨此之外，別無其他替代選項；台積電（2330）目前擁有超過80台EUV，並且還在安裝新一代設備，預計到2025年，台灣的「護國神山」將占全台整體能源消耗的12.5%，遠高於2020年時的大約6%。
台積電成為吃電大怪獸令許多人感到憂心。環保組織綠色和平（Greenpeace）氣候能源專案主任鄭楚忻表示，「缺電必然發生」，其他行業將受到影響。中央大學教授梁啟源說，除非晶片製造商自己蓋電廠，否則台灣恐怕養不起半導體業。台積電之外，美光科技（Micro Technology）也計劃在台中廠使用至少一台EUV。
晶片製造對環境的影響將取決於用電來源。研究業者Imec永續發展專案主管Lars-Ake Ragnarsson指出，在使用高耗能設備的晶片廠，「再生能源變得緊急且必要」。但台灣高度仰賴化石燃料。官方7月公布最新能源檢討數據，截至2021年底，僅6%的電力來自再生能源，當局還因此調降2025年再生能源發電目標，將占比由20%降至15%。
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責任編輯：林易萱
